废水特点：
成分复杂，主要包括：切片废水：含硅粉、碳化硅、聚乙二醇（PEG）、悬浮物等；
制绒清洗废水：含HF、HNO₃、NaOH等酸碱，氟离子浓度高；
扩散磷化废水：含磷酸盐，PECVD清洗废水：含氨氮、硅酸盐；
部分废水氟离子、COD、SS浓度高，pH极端。

● 处理技术：
切片废水：混凝沉淀/气浮（去除SS、硅粉），高级氧化/生化（去除PEG）；
含氟废水：化学沉淀法（钙盐沉淀除氟），多级沉淀或结合吸附；
酸碱废水：中和处理；
综合处理：MBR、纳滤、反渗透等膜技术用于深度处理和回用；
资源回收：硅粉回收、切割液回收再生。

● 方案优势：
高效除氟：采用特种除氟剂或优化工艺，确保氟离子稳定达标；
COD专项去除：针对PEG等难降解有机物，采用针对性处理技术；
高回收率：结合膜技术，实现废水高比例回用，节约纯水制备成本；
资源化：回收硅粉等有价值物质。